不銹鋼真空泵不能在大氣壓下工作，所以它需要預(yù)真空。一些不銹鋼真空泵出口壓力低于大氣壓力，所以它需要一個(gè)前級(jí)泵。所以所有的泵都需要組合使用。真空設(shè)備對(duì)油污的要求。如果嚴(yán)格要求無(wú)油設(shè)備，應(yīng)選用各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，以及一些防油污措施，如加裝冷阱、擋板、集油器等。也能滿足潔凈真空的要求。

　　在其工作壓力下，不銹鋼真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體，由于該產(chǎn)品需要選擇性泵送，有時(shí)一臺(tái)泵不能滿足泵送要求，需要幾臺(tái)泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足泵送要求。比如鈦升華泵對(duì)氫氣有很高的抽速，但不能抽氦氣，而三極濺射離子泵(或兩極不對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來(lái)，真空裝置將獲得更好的真空度。

　　不銹鋼真空泵應(yīng)安裝在地面堅(jiān)實(shí)的地方，周圍應(yīng)有足夠的空間，以方便檢查和維修。基礎(chǔ)標(biāo)高應(yīng)保持在不銹鋼真空泵的底座之下，建議在底座的四角墊上減震橡膠或用螺栓澆鑄安裝，以保證不銹鋼真空泵的平穩(wěn)運(yùn)行和低振動(dòng)
　　與不銹鋼真空泵系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠。金屬管道的密封墊可用于小型不銹鋼真空泵，真空軟管可用于小型不銹鋼真空泵，管道直徑不應(yīng)小于不銹鋼真空泵，的吸入直徑，并要求管道短，彎頭少。